硅基液晶（Liquid Crystal on Silicon，LCoS）技术的诞生可追溯至20世纪70年代。当时，电视技术的霸主美国无线电公司旗下的RCA实验室，正在进行意向革命性的探索：如何用液晶显示图像。G.H. Heilmeier（早期LCD研究关键人物）等人设想了一种全新的结构，将液晶直接制作在硅基板上，而硅基板本身集成了控制每个像素开关的晶体管阵列，确立了LCoS的核心思想：将液晶的光学调制特性与CMOS背板的主动寻址能力结合。

受限于当时半导体的制造工艺，难以在硅片上制造出高密度、高良率的像素阵列，液晶的封装、对齐、可靠性等都是巨大的难题；并且在同一时期，薄膜晶体管液晶显示（Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD）技术凭借更简易的结构，展现出更大的潜力，尤其是在小尺寸领域，如计算器、手表等。尽管RCA开创了先河，但最终暂缓了LCoS技术。

进入20世纪90年代，CMOS制造工艺遵循“摩尔定律”飞速发展，使得在硅片上制作高分辨率、小尺寸的像素阵列成为可能；同时，随着大屏幕演示和家庭影院概念的兴起，LCoS在投影领域的应用愈发关注。

这一时期，产业界试图将LCoS商业化，如美国的Displaytech（后被Micron收购）、Aurora Systems、Three-Five Systems等公司开始开发用于投影仪和近眼显示器的微型LCoS面板；日本JVC推出基于LCoS技术的投影仪，命名为D-ILA，索尼也推出SXRD系列投影仪产品。这些里程碑的达成，极大地推动了LCoS技术的成熟与可靠性。

进入21世纪10年代，科研界与工业界开始将LCoS从显示器件拓展为光场调控器件。这一时期，得益于半导体制造工艺、液晶材料性能和光电驱动电路的持续进步，LCoS的分辨率、响应速度、对比度与可靠性显著提升，为其跨领域应用奠定技术基础。

• 在显示领域

LCoS从高清投影仪逐步扩展到微显示系统，如AR/VR头戴显示器（HMD）和车载抬头显示（HUD）。其高像素密度与无网格显示优势，使之成为高分辨率、紧凑型显示的主流方案之一。部分厂商推出硅基反射式微显示芯片，实现低功耗、高亮度和高色彩还原的显示性能。

• 在光通信领域

LCoS的相位可编程特性得到充分利用，成为可调光学器件的核心。以Finisar、贝耐特等企业为代表，推出了基于LCoS的波长选择开关（WSS）和可编程光学滤波器（Waveshaper），实现光信号的灵活路由与波长级调控，推动了ROADM网络与灵活光层架构的发展。

• 在激光加工领域

LCoS空间光调制器能够对入射光束的相位或振幅进行实时动态控制，从而实现光束整形、焦点分布设计、多点加工及能量均匀化等功能。与传统的固定光学元件相比，LCoS方案无需更换硬件，即可通过计算机加载不同相位图样实现多种加工模式，使系统具备极高的灵活性与重复精度。这一特性使其广泛应用于微纳加工、光刻、激光雕刻、玻璃切割、表面微结构制备等高精度场景。